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第309章 第一道光
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第309章 第一道光

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    第309章第一道光(第1/2页)
    上海的七月,热得像蒸笼。
    赵四走下火车时,扑面而来的不只是热浪,还有一股混合着机油、铁锈和潮湿空气的工业味道。上海元件三厂。
    前身是生产电子管的国营厂,现在被划给了748工程,作为第一条4位微处理器生产线的筹建地点。
    厂门口挂着新牌子:“748工程上海实验基地”。字是刚刷的,白底红字,在烈日下有些刺眼。
    林雪已经在门口等着了,晒得满脸通红,工装后背湿了一大片。
    “赵总工!”她小跑着迎上来。
    “怎么是你来接?陈启明他们呢?”赵四把简单的行李递给她。
    “在车间,出事了。”林雪压低声音,“第一炉光刻,良品率……不到5%。”
    赵四心里一沉:“走,去看看。”
    车间是原先的电子管装配车间改造的,窗户都封死了,装了简易的空调和除尘设备。
    一走进去,一股更复杂的气味扑面而来。化学试剂、臭氧、还有金属烧灼后的焦味。
    陈启明、张卫东都在,还有上海本地的刘工,几个人围在一台老旧的光刻机前,脸色都很难看。
    “赵总工。”陈启明看见他,嗓子哑得厉害。
    “具体什么情况?”赵四没废话,直接走到工作台前。
    台上摊着几片晶圆,在日光灯下泛着诡异的彩色光泽。
    他拿起一片对着光看。
    上面刻蚀的电路图案模糊不清,有的地方线条断了,有的地方粘连在一起,像小孩子拙劣的涂鸦。
    “这是第一炉?”赵四问。
    “第三炉了。”刘工苦着脸,“第一炉全军覆没,第二炉好点,有3%能用。这炉……最多5%。”
    “问题出在哪?”
    “不知道。”陈启明抓了抓头发,头发上沾着不知名的化学粉末,
    “光刻胶不均匀?曝光时间不对?显影液浓度有问题?都有可能。我们挨个试,试了三天,还是这样。”
    赵四放下晶圆,走到光刻机前。
    这台机器是六十年代初从东德进口的,原本用于生产简单的晶体管。
    控制面板上的德文标签已经磨损,几个旋钮的刻度都模糊了。
    “机器校准过吗?”
    “校准了三次。”张卫东说,“我和刘工亲自调的。光学系统我们也拆开清洁过,镜片没问题。”
    “光刻胶呢?”
    “按配方配的。”林雪接口,“我们试了三种配方,这种效果最好,但也……”
    赵四沉默了一会儿,环视车间。
    这里条件确实简陋。洁净度最多千级,温度控制靠几台老空调,湿度完全看天气。
    而他们要做的,是在硅片上刻出宽度只有几微米的线条。
    这就像用生锈的刻刀在头发丝上雕刻。
    “把所有人都叫来。”他忽然说,“开个现场会。”
    十分钟后,车间里站了二十几个人。
    除了北京来的核心团队,还有上海厂本来的技术工人、新招的学徒,以及几个从其他单位借调来的专家。
    大家都站着,没人坐。空气闷热,但没人擦汗。
    “情况大家都看到了。”赵四开门见山,“良品率5%,等于100片里只有5片能用。这个成本,我们承受不起。更关键的是,如果连最简单的光刻都过不了关,后面的扩散、离子注入、金属化,更没戏。”
    他顿了顿,目光扫过每个人:“现在不是互相埋怨的时候,也不是退缩的时候。我们需要找到问题,解决问题。每个人,说说自己的看法。从光刻胶开始。”
    负责光刻胶的是个中年女技术员,姓王,以前在化工厂工作。她有些紧张:“赵总工,我……我都是按配方配的。原料是咱们能搞到的最好的,配比也是反复核对过的。”
    “原料批次稳定吗?”
    “不稳定。”王技术员实话实说,“这批重铬酸盐是天津产的,纯度标的是99%,但实际怎么样……我们没仪器测。”
    “显影液呢?”
    “显影时间控制不准。”一个年轻工人举手,“咱们的定时器是机械的,误差大。有时候差几秒钟,效果就完全不一样。”
    “还有温度。”另一个说,“车间温度波动大,光刻胶的感光性会变。中午热的时候和晚上凉的时候,曝光时间得调。”
    问题一个接一个地冒出来。设备老旧、材料不稳、环境控制差、操作经验不足……每一个问题单独看都不致命,但叠加在一起,就成了跨不过去的坎。
    等大家都说完,车间里一片沉默。
    沮丧的情绪像车间里的化学气味一样,弥漫在空气中,黏糊糊的,甩不掉。
    “都说完了?”赵四问。
    没人吭声。
    “好,那我说几句。”他走到光刻机前,拍了拍那台老旧的机器,“这台机器,是东德二十年前的产品。按国际标准,早该淘汰了。但我们没有更好的,只能用这个。”
    “我们的原料,纯度不够,批次不稳。但我们没有外汇进口高纯度的,只能用这个。”
    “我们的车间,洁净度不够,温控不精准。但我们没有钱建超净车间,只能用这个。”
    他顿了顿,声音提高:“但同志们,这些是理由吗?是咱们做不出合格芯片的理由吗?”
    还是没人说话。
    “我说,不是!”赵四重重地说,“设备旧,我们可以改造。材料差,我们可以提纯。环境不好,我们可以想办法控制。这些是困难,但不是绝路!”
    他拿起一片报废的晶圆:“大家看看这个。线条模糊,断线,粘连。问题出在哪?出在我们把每个环节都当成独立的,没有当成一个整体。”
    “光刻不是涂胶、曝光、显影三步就完了。它是一整套工艺。硅片清洗得干净吗?涂胶前表面处理到位吗?胶膜厚度均匀吗?曝光能量够不够?显影时间准不准?后烘温度对不对?”
    他一个个问题抛出来,每个问题都指向一个具体的环节。
    “我们现在要做的,不是抱怨设备不行、材料不行。”赵四放下晶圆,“而是要把这整套工艺,拆解成几十个、几百个细节,每个细节都做到我们能做的最好。设备精度不够,我们就用土办法补偿。材料纯度不够,我们就多道工序提纯。环境控制不好,我们就人工监测,随时调整。”
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    他看向陈启明:“启明,从今天起,你负责建工艺档案。每一次光刻,每一个参数。室温、湿度、胶的批次、涂胶转速、曝光时间、显影浓度、后烘温度。全部记录。做一百次,记录一百次。我们找规律,找最佳参数组合。”
    陈启明眼睛亮了:“对!数据积累!量变引起质变!”
    “林雪,你负责原料。”赵四转向她,“每一批原料进来,先做小样测试。不稳定的,就想办法提纯。没有设备,就用土办法。重结晶、蒸馏、过滤,什么都行。咱们不追求99.99%的纯度,但至少要保证批批稳定。”
    “明白!”
    “张卫东,你带几个人,改造设备。”赵四指着光刻机,“这台老家伙,控制系统太原始。你们研究研究,能不能加装简易的数控?哪怕只是把几个关键参数数字化显示,也能减少人为误差。”
    “这个我能做!”张卫东兴奋起来,“我认识邮电局搞自动控制的,可以请他们帮忙。”
    “刘工,你们上海组的老师傅们,”赵四看向老工人们,“经验最宝贵。请大家把操作中的诀窍、注意事项,都总结出来,写成操作规程。新人来了,按规程培训,不走样。”
    刘工用力点头:“赵总工,您放心,这事交给我们。”
    任务分下去了,气氛不一样了。刚才那种黏糊糊的沮丧,被一种具体的、可以着手去做的急切取代。
    “还有,”赵四最后说,“从今天起,咱们改个规矩。”
    所有人都看着他。
    “不做成品率统计了。”赵四说,“改成进步率统计。今天良品率5%,明天能不能到6%?这个月平均5%,下个月能不能到7%?咱们不跟别人比,就跟自己比。每天进步一点点,一个月、一年下来,就是翻天覆地的变化。”
    他顿了顿,声音缓下来:“同志们,我知道大家累,知道大家难。但咱们干的是什么事?是从零开始造芯片!是外国人卡我们脖子的东西!要是轻轻松松就能做成,还用得着咱们这些人拼死拼活吗?”
    “路得一步一步走,山得一寸一寸挖。今天咱们把光刻这道坎迈过去,明天还有扩散,后天还有离子注入。一道坎一道坎地迈,总能走到头。”
    “有没有信心?”
    “有!”吼声在车间里回荡。
    “好,开工!”
    人群散开,各就各位。陈启明立刻找来本子,开始设计工艺记录表。林雪带着王技术员去了仓库,盘点原料批次。张卫东围着光刻机打转,嘴里念念有词。刘工召集老工人,就在车间角落里开起了小会。
    赵四没走。他在车间里转,看每一个工位,问每一个细节。
    他看到年轻的学徒工小周在清洗硅片,动作有些生疏。
    “小周,多大了?”
    “十……十九。”小周紧张得手抖。
    “以前干什么的?”
    “厂里学徒,学钳工。”
    “钳工好啊。”赵四拿起一片清洗好的硅片,对着光看,“知道这是什么吗?”
    “硅片。”
    “知道它将来会变成什么吗?”
    小周摇头。
    “会变成芯片,变成计算机的心脏。”赵四把硅片放回托盘,“你现在洗的每一片硅片,将来可能用在导弹上,用在飞机上,用在医院的设备里。你手上的功夫,关系到整个系统的成败。”
    小周眼睛瞪大了。
    “所以,手要稳,心要静。”赵四拍拍他的肩,“好好干,你干的活,很重要。”
    他又走到光刻机旁。张卫东已经拆开了控制箱,正在研究里面的电路。
    “怎么样?”
    “比想象的好弄。”张卫东头也不抬,“机械部分没法动,但电控可以改。我打算加几个数字显示表,把曝光时间、转速这些关键参数直接显示出来,再弄个简易的定时控制器,精度能提高一个数量级。”
    “需要什么零件?”
    “一些电阻电容,还有数码管。这个不好搞。”
    “我想办法。”赵四说,“你尽管设计,零件我来解决。”
    傍晚时分,陈启明把第一份工艺记录表拿来了。表格设计得很详细,从硅片进车间开始,每一步都有记录项。
    “赵总工,您看这样行吗?”
    赵四仔细看了一遍:“可以。但再加一栏。操作员姓名。谁做的,谁负责。好的经验要推广,出了问题要溯源。”
    “明白。”
    “还有,”赵四想了想,“每天下班前,开十五分钟的站会。每个人说说今天做了什么,遇到什么问题,有什么发现。信息共享,别闷头干。”
    “好!”
    天色渐暗,车间里亮起了灯。日光灯管有些旧了,光线不够亮,但在硅片上反射出细碎的光。
    赵四站在车间中央,看着忙碌的人们。
    空气依然闷热,化学气味依然刺鼻,设备依然老旧。
    但有什么东西不一样了。
    那种茫然无措的沮丧,变成了有目标的忙碌。每个人都知道自己要做什么,知道问题在哪里,知道该往哪个方向努力。
    这就是他希望看到的。把庞大的、看似不可能的任务,拆解成一个个具体的问题。把抽象的“造芯片”,变成具体的“调光刻参数”“提纯原料”“改造设备”。
    路是一步步走出来的。
    而今天,他们迈出了真正意义上的第一步。
    虽然踉跄,虽然艰难。
    但毕竟,迈出去了。
    窗外,上海滩的灯火次第亮起。远处传来轮船的汽笛声,悠长,浑厚。
    这个城市睡了又醒,醒了又睡。
    而在这个不起眼的旧车间里,一群人正醒着,正努力着,正试图点亮这个国家信息时代的第一道光。
    光很微弱。
    但毕竟,亮了。
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