第440章光波没有摩擦力

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    第440章光波没有摩擦力(第1/2页)
    四月中旬，吉省长光所。
    地下实验室的无尘室外，王老的团队已经连轴转了两天两夜。
    玻璃窗内，一组从樱花国弄回来的日产光学物镜被拆成了几十个编号部件。
    镜片、隔圈、压环、镀膜样片，全都铺在防静电垫上。
    每一个动作都慢得要命。
    因为这玩意儿不是普通镜头。
    它关系到光刻机能不能从现有水平，往1.5微米制程上再迈一步。
    林希站在玻璃窗外，看着里面的进度。
    这时，江俊拿着一份资料册快步走了过来。
    “林经理。”
    他的声音比三年前稳了太多。
    三年前，江俊站在林希面前时，背是塌的，手里攥着女儿的病历。
    现在，他白大褂袖口卷到小臂，资料册夹在胳膊下，开口第一句就是工艺参数。
    “光刻机要升级到1.5微米制程，光有镜头不够。”
    江俊翻开工艺资料册，指着设计图上的对齐位。
    “1.5微米线宽，上下层对齐的套刻精度，最多只能容忍300纳米误差。”
    他手指敲了敲图纸。
    “也就是说，我们的尺子，得能量出几十纳米级别的微小位移。”
    江俊合上资料，语气很沉。
    “三年前搞出来的1微米精度光栅尺，已经不够用了。”
    林希点了点头。
    他很清楚，在1984年，测量工具的精度落后，就是卡死芯片制程的物理天堑。
    你连工作台挪了多少都量不准，还谈什么套刻？
    芯片不是靠热血喊出来的。
    每一道线，都得用精度咬出来。
    “跟我来。”
    江俊没多解释，转身就走。
    林希跟着他推开走廊尽头一间独立实验室的门。
    屋里温度比外面低，墙角的除湿机一直在响。
    光学平台四周拉着黑色遮光帘，地面上连脚印都很少。
    江俊走到一张光学平台前，手指搭在防静电黑布边缘，停了半秒。
    那动作不像揭布。
    更像是掀开自己三年心血的盖头。
    他一把拉开黑布。
    光学平台上，一台半米长的金属设备安安静静躺着。
    结构紧凑，反光镜组排布复杂，铝合金外壳擦得发亮。侧面贴着一张手写标签。
    CQ-1型双频氦氖激光干涉仪。
    林希蹲下来，绕着看了一圈。
    “跑通了？”
    “跑通了。”
    江俊回答得很稳。
    但他握着黑布的手一直没松，指腹压得发白。
    “林经理，三年前你给我批无上限预算，把激光干涉仪的活儿交给我，那时候我心里没有底。”
    “一微米精度，难，但路是通的。”
    “刻划机精度往上堆，材料往上磨，工人手艺往死里练，总能磨出来。”
    他顿了顿。
    “但一微米基本就是机械测量的天花板了。”
    “机械结构有摩擦，有热胀冷缩，有震动。刻划刀再锋利，也是铁碰铁。”
    “这三样东西消不掉，精度就上不去。”
    江俊站起来，走到黑板前。
    他没画复杂图纸，只写了一行字。
    光波没有摩擦力。
    林希看着那七个字，目光微微一顿。
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    江俊转过身。
    “前年，我把光栅尺项目结题报告交上去之后，就开始琢磨这条路。”
    “氦氖激光器波长632.8纳米，稳定，单色性好，天生就是一把尺子。”
    “两束光一干涉，条纹移动半个周期，就是316.4纳米。”
    “数条纹，就能量位移。”
    他说到这里，声音压低。
    “道理不难。”
    “难的是，这把尺子自己不能抖。”
    “激光器刚点亮时，频率会漂。”
    “温度变一点，腔长变一点，频率就跟着跑。”
    “你拿一把自己都在哆嗦的尺子去量东西，量出来的数，谁敢信？”
    江俊语速快了起来。
    “我试了十一种稳频方案。”
    “前十种，全废。”
    “烧了六根激光管，炸了两块分光镜。”
    “有一次反射镜崩了，碎片直接钉进防护板里。”
    他抬手拍了拍那台设备，动作很轻。
    “上个月，第十一种方案终于跑通了。”
    “塞曼效应分裂双频，再加热敏电阻反馈环路，把腔长锁住。”
    这一次，他没有再多解释。
    他走到设备旁边，按下侧面的绿色电源键。
    一束极细的红色激光射出。
    光束经过分光棱镜，分成两路，打在测试导轨的反光镜上。
    光路尽头，电子探测器上的绿色数字瞬间开始跳动。
    快得像乱了套。
    江俊没说话。
    林希也没说话。
    两人一起盯着屏幕。
    十秒。
    二十秒。
    三十秒。
    数字慢了下来。
    最后，尾数稳住了。
    江俊这才转头看向林希。
    他脸上没有笑，只有三年熬出来的笃定。
    “工作台位移分辨率，15纳米。”
    “也就是0.015微米。”
    “重复定位精度，正负20纳米以内。”
    他指了指玻璃窗外的无尘室方向。
    “1.5微米线宽，套刻容差300纳米。”
    “只要控制系统跟得上，我这把尺子，能把工作台误差压进安全线以内。”
    林希盯着探测器上纹丝不动的尾数，沉默了好几秒。
    然后，他长长吐出一口气。
    脑海里，透明的直播间屏幕上，弹幕直接炸了。
    【卧槽！15纳米！1984年的国产激光干涉仪！】
    【这不是造设备，这是把时间线往前硬拽了十几年！】
    【光刻机以前是摸黑走路，现在等于开了高精度导航！】
    【江俊真牛啊！三年前救女儿，三年后给国家造出一把纳米尺！】
    【这把尺子一出，32位芯片的物理底座稳了一半！】
    林希站起来，走到江俊面前。
    他没说漂亮话，只是郑重伸出手，用力握了一下。
    江俊被他攥得手指发疼，忍不住咧嘴。
    “林经理，轻点。”
    “我还得用这手调光路呢。”
    林希看着他，重重点头。
    “江工，辛苦了。”
    “这把尺子，是咱们冲击32位芯片最硬的底牌。”
    ……

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